加速度傳感器：高鐵敏感元器件國貨難覓 MEMS加速度傳感器國產(chǎn)化替代正緊鑼密鼓

、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進行實時監(jiān)測，并將電信號傳輸給列車指揮系統(tǒng)。”北京交通大學(xué)教授秦勇告訴科技日報記者，加速度敏感器件負責(zé)完成電信號的傳輸，是高端加速度傳感器中的核心部件。

科技日報記者在采訪中了解到

，由于我國傳感器產(chǎn)業(yè)長期處于產(chǎn)業(yè)鏈中下游，加速度敏感器件進口率達80%以上。

最小長度為頭發(fā)絲直徑的1/50

加速度敏感器件屬高端芯片

，多采用MEMS工藝制造。

MEMS是一門綜合學(xué)科，涵蓋微尺度下的力

、電、光、磁、聲、原子、表面等物理學(xué)的各分支，乃至化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)和儀器等各領(lǐng)域，學(xué)科交叉很強，研究難度很大。

“MEMS工藝則是在傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料基礎(chǔ)上

，利用平面硅加工工藝、體硅加工工藝等微納米技術(shù)，在硅片上制造微型機械敏感器件，并將其與對應(yīng)電路集成為一個整體的技術(shù)。”寧波中車時代傳感技術(shù)有限公司副總經(jīng)理呂陽介紹說，相比傳統(tǒng)的厘米級機械器件，MEMS器件尺寸非常微小，長度從1毫米到1微米，而一根頭發(fā)絲的直徑大約是50微米。

硅是MEMS的主要材料

，其電氣性能優(yōu)良，硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)