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    精確到納米！超精密測量技術(shù)沖破“封鎖線”  部分產(chǎn)品填補(bǔ)國內(nèi)空白
    
      
    
        
    
          2021-05-14 15:21:07來源：科技日報(bào)
    
        
    
          
            
          
            
        
    
        
    

      
    
      
    
        
    
          
    南極天文望遠(yuǎn)鏡、空間引力波探測裝置、極大規(guī)模集成電路制造裝備、光刻機(jī)……這一系列關(guān)鍵裝備的加工制造
    ，都需要依靠超高精度的測量儀器對大量光學(xué)元件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行測量。以往
    ，超精密測量技術(shù)受到國外封鎖
    ，成為制約高端裝備制造發(fā)展的瓶頸問題。
    

    近日
    ，由上海理工大學(xué)光電學(xué)院莊松林院士領(lǐng)銜的韓森教授團(tuán)隊(duì)與蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室所研發(fā)的國產(chǎn)化高端產(chǎn)品——數(shù)字化激光干涉儀進(jìn)展順利
    。據(jù)介紹，該項(xiàng)目研究成果技術(shù)難度大
    、創(chuàng)新性強(qiáng)
    ，取得了多項(xiàng)自主知識產(chǎn)權(quán)，部分產(chǎn)品填補(bǔ)國內(nèi)空白
    ，PV值測量等核心指標(biāo)及相關(guān)技術(shù)達(dá)到國際領(lǐng)先水平
    。
    

    有裝備制造的地方就需要精密的測量儀器
    

    “簡單來說，干涉儀就是將激光分為兩束
    ，照射至需要測量的器件上
    ，再匯合產(chǎn)生干涉，從而精確地測量出被測件表面的形貌誤差
    ，包括平面
    、球面、柱面或者自由曲面
    。”韓森向科技日報(bào)記者介紹
    ，數(shù)字化干涉檢測技術(shù)是結(jié)合光學(xué)干涉測量原理與計(jì)算機(jī)技術(shù)、能夠?qū)崿F(xiàn)納米精度的非接觸式測量技術(shù)
    ，是超精密光學(xué)計(jì)量
    、國家大科學(xué)裝置及工程、高端工業(yè)檢測領(lǐng)域最重要的手段之一
    。
    

    中國裝備制造要實(shí)現(xiàn)突破
    ，首先要解決制造質(zhì)量問題，其核心關(guān)鍵就是超精密測量能力。“有裝備制造尤其是高端裝備制造的地方
    ，就需要精密的測量儀器
    ，國內(nèi)精密測量儀器不能照搬國外的那一套，我們必須把核心技術(shù)掌握在自己手中
    。”韓森說道
    。
    

    團(tuán)隊(duì)針對中國高端檢測儀器和技術(shù)的需求，系統(tǒng)性地開展了模塊化激光干涉儀設(shè)計(jì)以及應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)的研究與攻關(guān)
    。他們首先基于模塊化設(shè)計(jì)思路開發(fā)了激光干涉儀的核心關(guān)鍵部件和測量軟件
    ，形成了多種型號高精密數(shù)字化激光干涉儀;接著在滿足高精度相對測量基礎(chǔ)上提出絕對檢測算法和閉環(huán)自檢技術(shù)，使平面面形檢測精度提高5倍
    。
    

    在雙重身份中縮短創(chuàng)新與市場的距離
    

    技術(shù)創(chuàng)新到市場
    ，還有多遠(yuǎn)的路需要走?“最后一公里”是科技成果轉(zhuǎn)化的普遍難題。
    

    “早在2018年
    ，上理工就與蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室
    ，以人為紐帶，讓高校教授長期深度對接產(chǎn)業(yè)
    ，更有利于盤活一系列資源
    。”韓森表示，在“大學(xué)教授”和“創(chuàng)業(yè)者”的雙重身份下
    ，高校的基礎(chǔ)創(chuàng)新與企業(yè)的技術(shù)實(shí)踐緊密綁定
    ，提高了科研成果轉(zhuǎn)化率和使用效益。
    

    目前
    ，項(xiàng)目成果完成了數(shù)字化激光干涉儀的工程化
    ，研制出多種口徑的商業(yè)化檢測儀器，實(shí)現(xiàn)“產(chǎn)學(xué)研用”的完美結(jié)合
    。相關(guān)產(chǎn)品及技術(shù)已經(jīng)在國家計(jì)量單位
    、國家大科學(xué)裝置及工程、高精密光學(xué)機(jī)械加工行業(yè)等多家企事業(yè)單位進(jìn)行推廣應(yīng)用
    ，有助于提升中國高端檢測儀器在市場的占有率
    ，推動高精密檢測技術(shù)發(fā)展。
    

    項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)還參與起草國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
    、國家平晶檢測規(guī)程和數(shù)字式球面干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范工作
    ，填補(bǔ)國內(nèi)空白。項(xiàng)目授權(quán)發(fā)明專利5項(xiàng)
    、實(shí)用新型專利5項(xiàng)
    ，發(fā)表論文10余篇，榮獲中國產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新成果一等獎
    、日內(nèi)瓦發(fā)明展特別金獎等多個獎項(xiàng)
    。
    

    (記者 王 春)
    
          
    
        
    
      
    
      
    
        
    
          責(zé)任編輯：孫知兵
    
      
    
        	  

      
    
      
    
        
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