盛美上海首次獲得 Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備的采購訂單_天天看熱訊
(資料圖)
盛美半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱“盛美上?div id="4qifd00" class="flower right">
碳化硅襯底用于功率半導體制造,而功率半導體被廣泛應用于功率轉換
、電動汽車和可再生能源等領域。碳化硅技術的主要優(yōu)勢包括更少的開關能量損耗、更高的能量密度、更好的散熱,以及更強的帶寬能力
。汽車和可再生能源等行業(yè)對功率半導體需求的增加,推動了碳化硅器件市場的增長
。根據(jù)Yole Dévelopment的數(shù)據(jù)
,截至2026年,該市場預計將超過40億美元
。
盛美上海董事長王暉博士表示:“功率半導體市場增長勢頭強勁,電動汽車市場和相關基礎設施的部署如火如荼。這份訂單表明了盛美上海在先進半導體晶圓制造設備方面的經(jīng)驗
,也可用于滿足碳化硅襯底制造的獨特要求。我們?nèi)匀恢铝τ谪S富我們的產(chǎn)品組合,以把握更多的市場機會。”關于Ultra C SiC碳化硅襯底清洗設備
盛美上海的該Ultra C SiC碳化硅襯底清洗設備使用SC1(氨水/雙氧水混合藥液)
、SC2(鹽酸/雙氧水混合藥液)、DHF(稀氫氟酸)及其他化學進行清洗工藝,并可選配公司自主研發(fā)的Smart Megasonix技術進一步優(yōu)化清洗效果。該設備兼容6英寸和8英寸,每小時可達70多片晶圓的產(chǎn)能,而且已進行了升級優(yōu)化,可避免薄且易碎的碳化硅襯底的碎片。關鍵詞:
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